一、基础信息
品牌：PI（Physik Instrumente 德国普爱纳米）
整套型号：F-712.HA1（机械台体）+ E-712K253（数字运动控制器）
产品类型：六自由度单面光子 / 光纤主动对准系统（FMPA 高速多通道光子对准平台）
架构构成：H-811 六足并联位移台（粗调）+ P-616 NanoCube® 压电纳米定位台（高速精扫）
二、核心硬件参数
机械台体 F-712.HA1（粗调六足）
自由度：6 轴 X/Y/Z/ θX/θY/θZ
直线行程：X ±6.5 mm，Y ±16 mm，Z ±8.5 mm
角度行程：θX ±14.5°，θY ±10°，θZ ±10°
最小步进：0.1 μm，最大速度 10 mm/s
传感器：闭环旋转编码器
P-616 NanoCube 压电精调平台
行程：XYZ 100 μm
分辨率：闭环 2.5 nm；开环 0.3 nm
双向重复定位：2 nm
驱动：PICMA® 全陶瓷绝缘压电促动器
E-712K253 数字控制器
伺服刷新率最高 50kHz，20 位 DAC
通讯接口：TCP/IP、USB、RS232
内置FMPA 高速自动对准固件（螺旋扫描、梯度寻优算法）
支持 4 路模拟光功率信号输入，联动光功率完成自动寻峰对准
三、关键功能特性
✅ 超快速自动对准
10μm 直径区域扫描＜0.2 s；100μm 区域扫描＜0.3 s，相比传统方案对准效率提升近百倍，支持多通道光纤阵列并行寻优。
✅ 粗精复合架构
六足大行程粗定位 + 压电纳米台高速抖动扫描，兼顾大范围移动与纳米级稳定精调，抑制温漂。
✅ 完备软件生态
配套 PIMikroMove 上位软件；提供 LabVIEW、Python、MATLAB、C# 开发库，适配自动化产线集成。
✅ 安全机制
软件限位、碰撞保护，可保护硅光晶圆、光纤阵列等高价值光学器件。
四、典型应用场景
硅光子（SiPh）晶圆探针测试、芯片封装耦合
光纤阵列、透镜、准直器、PLC 分路器主动对准
PIC 光子集成电路耦合测试、光器件自动化组装
相干光模块、高速光收发器件研发与量产测试
