一、整套硬件组成清单
H-811K04：粗动 6 轴 Hexapod 六足平台（单面倾斜安装结构）
P-616：XYZ 压电纳米精定位台（安装在六足上方）
六足控制器：C-887.521（标配，与你上一条型号对应）
压电台控制器：E-712
配套信号线缆、限位防撞传感、安装转接板
二、核心行程与精度参数
1）H-811K04（六足粗动）
直线行程
X：±6.5 mm｜Y：±16 mm｜Z：±8.5 mm
旋转行程
Rx (θX)：±14.5°｜Ry (θY)：±10°｜Rz (θZ)：±10°
最小增量运动：0.1 μm
最大速度：10 mm/s
重复定位精度：线性 ±0.3 μm；角度 ±4 μrad
2）P-616 NanoCube（压电精扫）
闭环 XYZ 行程：100 μm
闭环最小步距：2.5 nm
双向重复精度：2 nm
无摩擦柔性铰链，适合持续高速螺旋扫描
三、系统对准性能（F-712.HA1 单面机型）
Φ10μm 螺旋寻光扫描：＜0.2 s
梯度算法光功率优化：＜0.3 s
支持光功率计模拟信号接入（依靠 C-887.521 模拟输入）
可自定义旋转支点（光纤端面 / 芯片耦合面），光子耦合核心优势
四、型号区分重点
F-712.HA1：单面倾斜式（H-811K04）→芯片边缘单侧光纤耦合、SiPh 晶圆测试
F-712.HA2：双面倾斜式（双面对射耦合）
F-712.HU1：直立式六足结构
H-811K04 ≠ 标准 H-811.I2；K04 是成套系统专属订货编码，机械底座、安装倾角、出线方式针对 HA1 优化，无法直接互换。
五、适用场景
硅光子 SiPh 芯片、PIC 光子集成电路光纤耦合
光纤阵列 FA、PLC 平面波导、准直器自动对准
晶圆级光学器件自动化测试、封装耦合产线
六、配套软件与开发接口
上位调试：PIMikroMove
固件：PILightning 高速对准扫描固件
开发 SDK：Python / C/C++ / LabVIEW / MATLAB
