一、基础信息
型号:4156B
选件:无
品牌归属:Agilent 安捷伦(现 Keysight 是德科技)
设备类型:精密半导体参数分析仪
适配配件:41501B 扩展单元、三轴测试电缆、探针台接口组件
归类:半导体器件直流特性测试仪表
选件释义:无
用途:多通道同步 I-V 特性测试,具备飞安级微弱电流测量能力,用于 MOS 管、二极管、BJT、光电器件、晶圆、薄膜材料静态电学参数表征、漏电测试与器件可靠性评估。
二、核心硬件参数
内置通道:4 路 HRSMU 高分辨率源测量单元、2 路 VSU 电压源、2 路 VMU 电压监测单元
电流测量范围:10 fA ~ 100 mA
电压输出范围:±100 V
电流分辨率:10 fA,电压分辨率:1 μV
测量模式:直流阶梯扫描、脉冲扫描、时域瞬态采样、准静态 QSCV 测试
支持开尔文四线测量,消除引线电阻误差
存储介质:3.5 英寸软盘,支持测试曲线、程序保存
人机界面:8.4 英寸彩色 LCD 显示屏
通信接口:GPIB,内置 HP Instrument BASIC 可编程环境
可外接 41501B 扩展模块,拓展至 ±200V、±1A 测试范围
三、功能特性
4 通道独立同步源测,可直接对四端 MOSFET 同步施加偏置,无需反复接线;
fA 级超高灵敏度,适合亚阈值漏电、器件关断漏电流、绝缘薄膜高阻测试;
自动参数提取:阈值电压 Vth、击穿电压、导通电阻、hFE、亚阈值摆幅等关键参数;
支持长时间恒压 / 恒流应力测试,监测器件参数漂移,完成 TDDB、NBTI 可靠性实验;
具备脉冲测量模式,降低自热效应,表征功率器件动态特性;
内置曲线绘图、数学运算、数据统计功能,支持多条曲线对比分析;
GPIB 程控,可对接探针台,搭建自动化晶圆测试系统。
四、典型应用场景
MOSFET、IGBT、二极管、BJT 晶体管 I-V 特性实验室表征
芯片 IDDQ 静态漏电流、低功耗器件漏电测试
半导体晶圆工艺监控、器件失效分析
OLED、光电二极管、光伏电池伏安特性测试
纳米薄膜、绝缘介质超高电阻材料电学特性研究
半导体器件长期电应力可靠性测试





