一、基础信息
品牌沿革：Keithley 吉时利，后被 Tektronix 泰克收购
设备状态：市面存量较大，双通道系统型源测量单元（SMU），支持校准维护
设备定位：台式双通道独立源表，集成四象限电压源、电流源、电压表、电流表、电子负载功能，两路通道可独立 / 同步运行，适合双端器件、元器件阵列并行 I-V 特性测试，广泛用于实验室与半导体自动化产线
整机形态：台式整机，支持面板手动操作，可通过 TSP-Link 多台级联拓展通道，适配自动化 ATE 测试系统
供电规格：100~240V 交流自适应供电
二、核心规格参数
显示分辨率：6.5 位
通道配置：双通道完全独立 SMU 通道
单通道最大输出功率：40W
输出范围：±40V / ±3A；最小电流测量低至 1fA
电压量程：±100mV ~ ±40V
电流量程：1fA ~ ±3A
工作模式：四象限源 / 阱输出
测量模式：2 线本地测量、4 线远程感应测量
最高读数速率：20000 读数 / 秒
特色功能：Contact Check 接触状态检测
通讯接口：GPIB、LAN、RS232、TSP-Link 同步触发、前置 USB 存储接口
程序架构：内置 TSP 测试脚本处理器
三、核心性能参数
双通道互不干扰，支持同步扫描、异步独立测试，适配双极晶体管、光电阵列元器件测试工况
四象限双向工作，既可输出激励，也可吸收电流充当电子负载，完整采集器件 I-V 曲线
可编程电压、电流软硬双重限值，有效保护 LED、激光芯片、功率半导体等被测器件
内置数字滤波，抑制电磁干扰，兼顾大电流稳态测试与微弱漏电流测量
Contact Check 接触检测功能，自动识别探针、线缆虚接，避免产生无效测试数据
支持连续直流扫描、脉冲输出模式，捕捉器件瞬态电学特性
支持前后端子切换，兼顾桌面研发调试与机柜自动化集成
四、内置标准测量功能
直流电压、直流电流、电阻测量
电压扫描、电流扫描，生成器件 I-V 特性曲线
测试连接接触状态自动检测、异常告警
连续数据记录、超限判定、测量数据统计运算
四线制测量消除引线压降带来的测量误差
支持 TSP 本地脚本、SCPI 远程程控，实现大批量器件自动化测试
五、硬件接口与操控
前面板：真空显示屏、功能按键、调节旋钮、双通道 A/B 测量端子、前置 USB 接口
背板：电源输入、GPIB、LAN、RS232 通讯接口、TSP-Link 拓展接口、后置测量端子、数字触发接口
操控方式：面板按键本地操作，GPIB/LAN 远程程控
机箱规格：标准台式机箱，支持 19 英寸机柜上架
六、典型应用场景
LED 阵列、光电二极管阵列并行 I-V 测试
双极晶体管、MOSFET 半导体器件电学特性表征
光通信激光器、VCSEL 光电性能测试
传感器、采样电阻、无源元器件导通特性测试
半导体工厂、光电实验室双通道并行自动化测试
