一、基础信息
品牌沿革:Keithley 吉时利,隶属于 Tektronix 泰克集团
产品状态:主流商用半导体矩阵开关主机,二手保有量大,支持计量校准
设备定位:独立机架式信号切换主机,无内置测量单元;专门面向半导体微弱信号测试,实现多器件矩阵交叉切换,一套接线完成多路芯片巡回测试;支持前面板本地操作,同时支持远程程控自动化测试,常配套 4200A‑SCS 半导体参数分析仪、2600 系列数字源表搭建测试系统
整机形态:3.5U 标准 19 英寸机架机箱,6 插槽架构;前面板配置显示屏、导航旋钮;背板提供插槽用于安装各类矩阵开关卡
二、核心规格参数
卡槽配置:主机内置6 个通用插卡插槽
通道规模:最多搭载 6 张 8×12 矩阵卡,最大支持 576 个信号交叉点
兼容开关卡:7072 通用矩阵卡、7072-HV 高压矩阵卡、7174A 低电流矩阵卡等
开关电气指标:接触电势<20μV,低电流版本漏电流低至 fA 级;通用卡耐压 200V/1A,高压卡最高 1300V
通讯接口:LXI 以太网、USB、GPIB;搭载 TSP 嵌入式脚本处理器、TSP-Link 多机级联总线
数字 IO:内置 14 路可编程数字 IO,可联动探针台、外部继电器
存储:非易失存储器,可保存大量通道切换配置方案
冷却方式:无风扇静音密闭设计,降低电磁干扰,适配洁净实验室环境
三、核心性能参数
专为半导体 I-V、C-V 微弱信号测试优化,极低漏电流与接触电势,不会干扰 pA/fA 级微小信号测量
矩阵交叉切换架构,支持多引脚器件、晶圆多芯片批量自动化巡回测试
切换速度相比前代 707A 大幅提升,适配全自动探针台高速筛选测试
TSP 脚本可脱离电脑独立运行通道扫描序列,降低自动化测试通讯延迟
多台 707B/708B 通过 TSP-Link 同步触发级联,可扩展上千通道大型 ATE 系统
支持通道分组、时序切换、通道保护设置,抑制切换浪涌防止被测器件损坏
全面兼容吉时利整套半导体测试仪器,系统集成兼容性强
四、内置标准功能
矩阵通道闭合 / 断开独立控制
通道配置方案保存、调取
前面板手动通道操作
外部硬件触发同步切换
数字 IO 联动外部测试工装
TSP 测试脚本离线自动执行多路扫描
全部通道工作状态实时监测
五、硬件接口与操控
前面板:液晶显示屏、导航旋钮、功能操作按键
背板:6 个开关卡插槽、LAN、USB、GPIB 通讯接口、数字 IO 端口、TSP-Link 接口、电源输入
操控方式:前面板本地手动操作;电脑远程程控控制
安装规格:3.5U 高度标准 19 英寸机架机箱
六、典型应用场景
MOSFET、存储器件、分立半导体多通道 I-V 批量测试
晶圆探针台多芯片自动化筛选测试
4200A‑SCS 系统拓展多路器件 C-V 特性并行测试
薄膜材料、二维器件多样品长期可靠性老化监测
传感器、无源元器件矩阵式多路电学巡回采集





