一、基础信息
品牌沿革:Keithley 吉时利,隶属于 Tektronix 泰克集团
产品状态:经典微弱电流测量仪器,已停产,二手保有量大,支持计量校准
设备定位:独立整机精密皮安表,集成 ±500V 可编程电压源;专为飞安至毫安级微弱电流测量设计,可给被测器件施加偏压同时采集漏电流,支持本地面板操作,兼容程控搭建自动化测试系统
整机形态:标准台式机架机箱,5½ 位数字显示屏;背板搭载 Triax 三同轴低泄漏输入接口,适配高阻抗微小信号测试
二、核心规格参数
显示分辨率:5½ 位
电流测量范围:20fA ~ 20mA,8 档量程,最小分辨率 10fA
内置电压源:0 ~ ±505V 可编程直流输出,支持线性电压扫描
电阻测量范围:10Ω ~ 10PΩ,支持交变极性高阻测量
读数速率:最高 1000 读数 / 秒
输入接口:背板 Triax 三同轴接口(支持 500V 浮动测量)
模拟输出:±1V 模拟信号输出,可外接示波器、采集卡实时观测电流变化
通讯接口:GPIB、RS232,兼容 SCPI 指令集
特有功能:电容负载阻尼功能,优化绝缘材料、薄膜电容漏流测试
输入负载电压:<200μV,降低被测回路干扰
三、核心性能参数
极低输入偏置电流,搭配三同轴屏蔽线缆,有效抑制线缆泄漏电流,适合高阻抗样品测试
集成电压源,单台设备完成器件偏置 + 微电流采集,实现 I-V 曲线自动扫描
具备硬件过压保护,最高耐受 500V 输入,防止被测器件高压冲击损坏仪器
提供多级数字滤波,适配实验室复杂电磁环境下微弱信号稳定测量
支持外部硬件触发,可联动光源、开关矩阵、探针台同步测试
区分:6485 基础皮安表无内置电压源;6487 增加 500V 偏置源,是 6485 功能增强型号
四、内置标准测量功能
微弱直流电流测量(皮安 / 纳安 / 微安 / 毫安)
电压源输出、线性电压扫描 I-V 测试
超高阻绝缘电阻测量(交变极性法)
时序电流连续采集、数据缓存记录
模拟信号实时输出、外部触发同步测量
上下限判定、超限报警功能
五、硬件接口与操控
前面板:数字显示屏、功能按键、量程切换、电压源通断按键
背板:Triax 三同轴输入端子、GPIB、RS232 接口、模拟输出口、电源接口
操控方式:前面板完整本地手动操作;电脑远程程控控制
安装规格:标准台式机箱,支持 19 英寸机架安装
六、典型应用场景
MOS 器件栅极漏电流、二极管反向暗电流测试
光电二极管、光电传感器光电流 / 暗电流表征
绝缘薄膜、介质材料漏电流、体电阻率测试
MEMS、纳米材料、二维材料微弱电学特性测量
科研实验室高阻抗器件、离子束电流监测



