一、基础信息
品牌沿革：Keithley 吉时利，隶属于 Tektronix 泰克集团
产品状态：商用高压大功率系统源表，二手流通量大，支持计量校准
设备定位：独立机架式单通道四象限源测一体化仪器（SMU），专为高压器件微弱漏电流测试设计；集成高压电压源、精密电流测量、电子负载；搭载 TSP 嵌入式脚本处理器，主要面向高压半导体、绝缘介质测试；多用于自动化探针台系统，前面板具备显示屏，支持本地操作与远程程控
整机形态：标准全机架台式机箱，背板高压 Triax 三同轴低泄漏测试端子
二、核心规格参数
通道配置：单通道独立 SMU
电压范围：±3000V
电流范围：±120mA 直流；最小测量电流 1fA
整机持续最大功率：180W
测量分辨率：6½ 位，电压最小 100nV，电流最低 fA 级
采集架构：双 22 位积分 ADC + 双 18 位高速数字化器，支持瞬态波形捕获
通讯接口：GPIB、RS232、以太网、TSP-Link 多机同步级联、14 路数字 IO
特色配置：标配 Triax 三同轴接口，极低漏电流；支持四线开尔文测量、硬件安全互锁、高压联锁保护
三、核心性能参数
四象限工作模式，既能输出高压激励，也可吸收能量充当电子负载
3000V 超高输出电压，同时具备 fA 级极限微弱电流测量能力，兼顾高压与微电流
三同轴屏蔽端口设计，抑制线缆泄漏电流，适合介质材料、MOS 电容栅漏电流测试
内置数字化采集功能，可捕捉高压下器件瞬态击穿、漏电变化波形
TSP 脚本支持离线运行测试流程，可联动 707B/708B 矩阵开关、全自动探针台搭建 ATE 系统
完备高压安全防护机制，硬件过压、过流、过热保护，降低高压测试风险
可与 2600B 系列其他源表同步触发，组合搭建多通道半导体测试平台
四、内置标准测量功能
高压直流电压源 / 测量、直流电流源 / 测量
元器件高压 I-V 扫描、击穿电压、TDDB 耐压老化测试
绝缘材料、介质薄膜超高阻、漏电流长期监测
时序连续采集、瞬态波形记录
上下限判定、测试数据自动存储导出
自动化测试脚本离线运行
五、硬件接口与操控
前面板：数字显示屏、功能按键、量程操作按键、高压安全指示灯
背板：Triax 三同轴高压测试端子、LAN、GPIB、RS232、TSP-Link、数字 IO、安全互锁、电源接口
操控方式：前面板本地手动操作；电脑远程程控控制
安装规格：标准 19 英寸全机架机箱
六、典型应用场景
功率 MOS、IGBT、高压二极管击穿特性测试
MOS 栅介质、薄膜材料耐压、漏电流、TDDB 可靠性测试
光电倍增管、高压传感器、静电防护器件测试
储能介质、绝缘材料高阻与漏电特性表征
晶圆探针台高压半导体芯片自动化筛选
