一、产品概述
4225-RPM 是适配4200A-SCS / 4200-SCS 半导体参数分析仪的外置远程配件,必须搭配 4225-PMU 超快脉冲模块协同工作,无法独立上电运行。集成两大核心功能:脉冲信号微弱电流前置放大、信号通路程控切换。可直接安装在探针台屏蔽腔附近,缩短待测器件到测量前端的线缆距离,抑制寄生电容、线缆噪声,同时实现脉冲 I-V / 直流 SMU I-V / C-V 电容测试通路自动切换,无需抬起探针、人工更换线缆。衍生型号:4225-RPM-LR(低输出电阻版本,适配大电流场景)。
二、核心技术参数
✅ 基础规格
适配主机:4200A-SCS、4200-SCS
配套模块:4225-PMU 超快脉冲测量单元
拓展电流量程:新增 4 档超低脉冲电流量程,最低测量电流 100 nA
耐受电压:跟随系统模块最高 ±210 V
接口:双 SMA 射频接口,待测器件输出端口
控制方式:Clarius+ / KITE 软件程控自动切换
供电:由 4200 系列主机通过专用线缆远程供电,无需独立电源
三、关键特性
远程前置放大架构,放置靠近探针台,大幅降低长电缆寄生电容带来的脉冲振荡、读数漂移;
一站式通路切换:自动切换【4225-PMU 脉冲模块 ↔ SMU 直流源测模块 ↔ CVU 电容模块】;
脉冲模式下拓展微弱电流测量能力,原生 4225-PMU 最低仅 100μA,加装 RPM 向下延伸至 100nA;
支持 4 线开尔文测量,消除引线阻抗误差,适配晶圆探针测试;
通道自动量程切换,脉冲扫描过程中动态切换量程,适配跨多个数量级电流的器件;
完备静电与电应力保护,防止存储器件、超薄栅介质等敏感器件损伤;
一台 4225-PMU 双通道模块最多可搭配 2 台 4225-RPM,实现两路器件独立测试。
四、典型应用场景
RRAM、FeRAM、Flash 存储器脉冲 I-V、耐久、保持特性全自动测试
CMOS 器件 NBTI、PBTI、HCI 热载流子可靠性循环测试
高 k 栅介质、二维材料瞬态电荷俘获、脉冲漏电表征
MOSFET 直流特性、电容特性、脉冲特性一体化连续测试
晶圆探针台全自动测试系统,减少人工操作、提升探针利用率
光电器件、OLED 器件瞬态脉冲电学特性研究





