吉时利(Keithley)6517B 静电计 / 高阻表的权威产品资料,基于官方技术文档和实测数据,涵盖核心升级、技术参数、应用场景:
一、核心升级与技术指标
存储与速率提升
数据存储:内置电池备份内存缓冲区从 6517A 的 15K 读数大幅扩展至50,000 读数,支持长时间无人值守测试(如电池自放电监测)。
测量速率:
内部缓冲区:425 读数 / 秒(0.01PLC 积分时间,数字滤波关闭),适用于快速动态信号捕捉(如半导体器件的瞬态漏电)。
IEEE-488 总线传输:400 读数 / 秒(二进制模式),配合 LabVIEW 可实现高速自动化测试。
接口与通信优化
新增 USB 接口:支持即插即用,兼容 Windows/Linux/macOS 系统,简化与现代 PC 的连接。
波特率提升:RS-232 通信速率从 6517A 的 19.2k 升级至115.2k,大幅缩短数据传输时间。
固件可升级:通过 USB 或 GPIB 接口更新固件,持续获取新功能(如新型号校准算法)。
基础性能参数
电流测量:范围 10aA(10⁻¹⁷A)至 20mA,分辨率 10aA,输入偏置电流 < 3fA(典型值),噪声仅 0.75fA 峰峰值(20pA 量程),可检测单电子隧穿效应Tektronix。
电阻测量:覆盖 10⁻¹Ω 至 10¹⁸Ω,支持交替极性法消除本底电流,确保 10¹⁷Ω 级超高阻测量的重复性(误差 <±0.125%)Tektronix。
电压源:内置 ±1kV 可编程电压源,输出纹波 < 5.1mV RMS(1000V 量程),支持线性 / 对数扫描,适用于绝缘材料击穿电压测试Tektronix。
环境适应性
温度系数:输入压降温度系数 < 10μV/℃(pA/μA 级量程),在宽温环境(0-50°C)下仍保持高精度Tektronix。
湿度 / 温度测量:可选配 6517-RH 模块,支持 **±3% RH** 湿度测量(0-100% RH)和 K 型热电偶温度监测(±0.3%+1.5°C),适合材料吸湿特性研究。
二、功能特性与应用场景
专业测试功能
内置测试序列:支持 8 种预编程测试(如二极管漏电流、电容器绝缘电阻、表面电阻率),自动生成测试报告并计算统计参数(如最小值 / 最大值 / 标准差)。
保护电路:
过压保护(250V 峰值)和过流保护(100V 量程 14mA、1000V 量程 1.4mA),防止高能量冲击损坏设备。
三同轴电缆接口(GUARD 端)有效抑制电磁干扰,适用于高阻环境(如纳米线表征)。


