Agilent/安捷伦4155B半导体参数分析仪
- 功能特性：设有四个内置源/监测单元（SMU），两个电压单元（VSU），两个电压监测单元（VMU），可灵活用于从材料评价到器件表征等各个阶段的检查和现场故障分析。
- 测量能力：具有10fA/1μV分辨率，测量范围为100mA/100V，可使用Agilent 41501B做阶梯、脉冲扫描测量、采样测量等，还可进行应力循环测量。
- 数据处理：测量和分析结果显示在彩色LCD上，可由4个图形存贮器存储，可通过GPIB、并行或网络接口输出数据，也可存储在MS-DOS或LIF格式文件中。
- 拓展性：任何时候均可增添41501B SMU和脉冲发生器扩展器，扩展后可接收两100mA/100V SMU或一个1A/200V SMU和两个同步40V/1μs脉冲发生器。
