一般特性
用于先进器件表征的高精度实验室用台式参数分析仪
4x 高分辨率 SMU、2xVSU 和 2xVMU
填空式前面板操作
包括 Desktop EasyEXPERT 软件，可在 PC 上通过 GUI 对仪器进行控制
测量能力
1 fA 和 0.2 mV 测量分辨率
QSCV、强化测试模式、旋钮扫描和待机功能
可选的 41501B 可提供 +/- 200 V 和 +/- 1 A 大功率 SMU、脉冲发生器功能
Desktop EasyEXPERT 软件
提供直观的、面向任务的参数测试方法
配有 80 多个预定义、用户可修改的应用测试
自动将数据保存到硬盘或任何网络硬盘
通过 Desktop EasyEXPERT 软件进行离线数据分析和应用测试开发
