1. 成色要求:泵体无漏油,启停平稳,真空抽取速率达标,轴承无异响。
2. 基础配置:涡轮分子泵主体、驱动电源、密封法兰、减震套件。
3. 仪器介绍:SEM专用真空分子泵,通用标准备件,持续供货未停产。