产品详情
一、产品概述
2657A 属于 2600A 系列单通道高压大功率系统源测量单元(System SourceMeter),专为高压功率半导体器件测试研发。集成四象限源 / 负载功能,最大直流 / 脉冲功率 180W,最高输出电压 ±3000V,同时具备飞安级微弱电流测量能力,内置 TSP 脚本处理器,可与 2651A 及其他 2600 系列源表协同搭建功率半导体测试平台,广泛用于 SiC、GaN 宽禁带器件高压击穿、漏电特性表征。
二、核心技术参数
✅ 通道规格(单通道)
电压范围:±3000 V(±1500 V@120 mA;±3000 V@20 mA)
直流最大功率:180 W
测量分辨率:电压 1 μV;电流低至 1 fA
双通道 1 MHz、18 位数字化采集,捕捉器件瞬态波形
四象限源 / 负载双向工作
配备 SHV 高压安全接口,适配高压测试线缆
三、关键特性
单通道高压 SMU,集成精密高压电源、电子负载、脉冲发生器、高精度测量仪
内置 TSP 测试脚本处理器,本地运行测试程序;支持 TSP-Link 多机级联、数字 I/O、接触检测功能
6½ 位高精度测量,最高 38500 读数 / 秒,双 22 位 ADC 保障测量精度
通讯接口:LAN (LXI)、GPIB、USB2.0、RS232
配套软件:TSP Express、KickStart、ACS 半导体参数分析软件
兼容全系 2600A 系列指令;内置过压、过流、电弧、过温多重高压安全保护
可搭配 2651A 大电流源表组合,实现功率器件高压 + 大电流综合测试
四、典型应用场景
SiC、GaN 功率器件、高压 MOSFET、IGBT 击穿电压、漏电流测试
高压二极管、晶闸管、高压储能器件电学特性表征
绝缘材料、薄膜、氧化物介质高压耐压与漏电测试
传感器、高压光电器件静态与脉冲应力测试
实验室半导体研发、自动化 ATE 高压可靠性测试系统