一、产品概述
是德科技 **B1511B（MPSMU）中功率源‑测量 / 监测单元，插卡式模块，停产**；为 B1500A 半导体参数分析仪配套的单插槽精密 SMU 模块，四象限源测一体化，用于半导体器件高精度 IV 直流、脉冲以及准静态 CV 表征测试是德科技。
二、核心技术参数
1. 输出电压范围：±100 V
2. 输出电流范围：±0.1 A（直流）
3. 测量分辨率：电流 **10 fA**，电压 **0.5 µV**Keysight
4. 工作模式：4‑象限源‑测，可电压源测电流、电流源测电压；支持四线开尔文测量
5. 占用主机插槽：**1 个插槽位置**
6. 时域采样：最小采样间隔 100 μs；脉冲测量最小脉宽 500 μs
7. 扩展选件：可加装 E5288A‑ASU 阿托传感开关单元，最低可达 100 aA 超高分辨率，支持 IV/CV 自动切换
8. 特色测量：准静态电容‑电压 (QS‑CV) 测量，带漏电流补偿
9. 系统兼容：B1500A 半导体器件分析仪主机
10. 配套软件：EasyEXPERT 测试软件
三、关键特性
1. 单槽紧凑型精密 SMU，节省机箱插槽资源，一台 B1500A 最多可装 10 块该模块
2. 同时具备高压输出与 fA 级微弱漏电检测能力
3. 内置准静态 CV 测量功能，可完成 MOS 器件栅极表面特性测试
4. 支持定点、扫描、脉冲、时域采样多种测量模式
5. 超低噪声、长期漂移小，适合长时间可靠性老化测试
6. 可选 ASU 附件实现阿托安级超微弱电流测量
四、典型应用
MOSFET、二极管等低‑中功率半导体 IV 特性测试；MOS 管准静态 CV 栅电容测试；纳米器件、光电材料、薄膜材料微弱漏电测量；元器件击穿电压、阈值电压测试；高校微电子实验室科研实验。
