一、产品概述
4200-PA 是4200A-SCS / 4200-SCS 半导体参数分析仪专用远程前置放大器配件，不能独立工作，必须搭配 4200‑SMU / 4201‑SMU / 4210‑SMU / 4211‑SMU 源测模块使用。将微弱电流测量前端放置靠近待测器件（探针台、样品盒），最大限度降低三轴线缆泄露电流、噪声干扰，把 SMU 测量下限由 100 fA 拓展至10 aA，是二维材料、高阻薄膜、栅介质漏电等超低电流测试必备配件。
二、核心技术参数
✅ 基础规格
兼容模块：4200‑SMU、4201‑SMU、4210‑SMU、4211‑SMU
电流测量拓展：新增 5 个超低电流量程，最低 10 aA
适配电压：跟随配套 SMU，最高 ±210 V
输入接口：三同轴（Triax）接口
连接线缆：标配 4200‑RPC 远程控制线（2m，可选购更长线缆）
外形尺寸：小型金属屏蔽盒，可安装在主机背板，也可远程固定在探针台屏蔽腔内
供电：由 4200A‑SCS 主机通过专用线缆供电，无需外部电源
三、关键特性
远程放置设计：可脱离主机背板，直接安装在探针台、低温腔旁，缩短微弱电流信号路径，抑制线缆漏流；
硬件内置屏蔽结构，搭配三轴测试线缆，保障 aA 级电流稳定测量；
系统无缝集成，Clarius+ / KITE 软件自动识别 4200‑PA，界面自动加载超低电流量程，无需额外编程；
支持 2 线 / 4 线开尔文测量，适配晶圆探针、TFT 器件测试；
可多通道配置，一台 4200A‑SCS 可搭载多个 4200‑PA，多路 SMU 同时实现超灵敏测量；
具备静电防护，保护前端微弱信号电路与待测敏感器件。
四、典型应用场景
二维材料、有机半导体、薄膜晶体管亚阈值特性测试
MOSFET、高 k 栅介质栅极微小漏电流测试
RRAM、FeRAM 存储器件高阻态精密电学表征
光电探测器、传感器暗电流、微弱信号测试
绝缘介质、薄膜材料耐压、超低漏电测试
低温探针台、屏蔽测试箱内低电平物性实验
