产品详情
一、基础信息
品牌沿革:Keithley 吉时利,后被 Tektronix 泰克收购
产品状态:已停产,二手市场流通量大,2600A 系列双通道高压系统源测量单元 (SMU),支持校准维护
设备定位:台式双通道独立数字源表,集成精密电压源、电流源、6.5 位万用表、脉冲发生器、电子负载一体;两路通道相互独立,支持同步 / 异步测试,主打 200V 高压器件双通道 I-V 自动化测试,兼容半导体、光电元器件研发与产线 ATE 系统
整机形态:台式整机,支持面板手动操作,TSP-Link 总线可多台级联扩展通道
供电规格:100~240V 交流自适应供电
二、核心规格参数
显示分辨率:6.5 位
通道配置:双通道(CH A、CH B)完全独立 SMU 通道
单通道连续直流功率:30.3W
电压量程:±200mV ~ ±200V
直流电流量程:±100nA ~ ±1.5A;脉冲模式最高 10A
测量下限:电流低至 1fA
工作模式:四象限源 / 阱双向输出
测量模式:2 线本地测量、4 线远程感应测量
采集速率:最高 20000 读数 / 秒
通道同步精度:<500ns
通讯接口:LAN (LXI)、GPIB、RS232、前置 USB 存储、TSP-Link 同步触发接口
内置功能:TSP 嵌入式脚本处理器、Contact Check 接触检测
三、核心性能参数
双通道互不干扰,可独立驱动样品,也可高精度同步扫描,适配高压双端器件差分测试
四象限双向工作,既能输出激励电压电流,也可吸收电流充当电子负载,完整采集器件击穿、I-V 特性曲线
可编程电压、电流软硬双重限值,防止高压二极管、光电芯片过压损坏
内置数字滤波,抑制电磁噪声,兼顾稳态测试与微弱漏电流测量
Contact Check 接触检测功能,自动识别探针、线缆虚接,避免无效测试数据
支持直流连续扫描、脉冲测试模式,降低被测器件发热
支持前后端子切换,兼顾桌面研发调试与机柜自动化集成
代码向下兼容早期 2600 系列源表,方便旧测试系统升级替换
四、内置标准测量功能
直流电压、直流电流、电阻测量
电压扫描、电流扫描,生成器件 I-V 特性曲线
连接状态自动检测、测试异常告警
连续数据记录、超限判定、测量数据统计运算
四线制测量消除引线压降带来的测量误差
支持 TSP 本地脚本、SCPI 远程程控,实现大批量器件自动化分选测试
五、硬件接口与操控
前面板:真空荧光显示屏、功能按键、调节旋钮、双通道 A/B 测量端子、前置 USB 接口
背板:电源输入、LAN 网口、GPIB、RS232 通讯接口、TSP-Link 拓展接口、数字 I/O 触发、后置测量端子
操控方式:面板按键本地操作,GPIB/LAN 远程程控
机箱规格:标准台式机箱,支持 19 英寸机柜上架
六、典型应用场景
高压二极管、TVS、压敏电阻双通道 I-V 击穿测试
光电探测器、高压光电器件电学特性表征
MOSFET、IGBT 低压 / 高压分立半导体器件测试
传感器、无源高压元器件可靠性老化测试
半导体实验室、元器件工厂双通道高压自动化测试平台