产品详情
一、基础信息
品牌沿革:Keithley 吉时利,后被 Tektronix 泰克收购
产品状态:2650 系列大功率高压单通道源测量单元(SMU),市场流通稳定,支持校准维护
设备定位:台式单通道高压 SMU,集成精密高压源、6.5 位万用表、脉冲发生器、四象限电子负载;主打最高 3000V 高压器件测试,兼顾 3kV 高压输出与 1fA 飞安级微弱漏电流测量,适配 SiC/GaN 宽禁带半导体、高压二极管、绝缘材料击穿测试,支持实验室研发与高压自动化 ATE 测试系统
整机形态:台式整机,面板本地操作;搭载 TSP-Link 总线,支持多机级联拓展测试通道,标配 SHV 高压安全接口
供电规格:100~240V 交流自适应供电
二、核心规格参数
显示分辨率:6.5 位
通道配置:单通道独立 SMU
功率指标:直流 / 脉冲最大功率 180W
电压范围:±3000V;输出规格 ±3000V@20mA、±1500V@120mA
电流范围:测量下限低至 1fA,最大输出 120mA
测量灵敏度:电压 100nV,电流最低 1fA
工作模式:四象限源 / 阱双向输出
测量模式:2 线本地测量、4 线远程感应测量
双 ADC 架构:22bit 积分 ADC(稳态高精度测量);18bit 数字化 ADC,采样速率 1MS/s 捕捉瞬态信号
通讯接口:LAN (LXI)、GPIB、RS232、前置 USB、TSP-Link 同步总线、数字 I/O
内置功能:TSP 嵌入式脚本处理器、Contact Check 接触状态检测
测量端子:SHV 高压同轴安全端子,适配高压线缆,保障操作安全
三、核心性能参数
高压旗舰机型,最高 3000V 输出,专门面向第三代半导体高压击穿、反向漏电测试
四象限双向工作,既能施加高压激励,也可吸收电流充当电子负载,完整采集器件 I-V 曲线、击穿电压、漏电流参数
可编程电压、电流软硬双重限值,防止高压器件击穿损坏,提升测试安全性
Contact Check 接触检测,自动识别探针、高压线缆虚接,规避无效测试数据
支持直流连续扫描、高压窄脉冲测试,降低被测器件持续发热风险
TSP-Link 总线可与 2651A、2600 系列源表组合搭建混合高压 / 大电流测试平台
内置网页服务器,可通过浏览器远程监控操作;兼容全系列 2600 平台 SCPI、TSP 测试脚本
前后端子可切换,兼顾桌面研发调试与机柜自动化系统集成
四、内置标准测量功能
直流电压、直流电流、电阻、绝缘电阻测量
电压扫描、电流扫描,生成器件 I-V 特性、击穿特性曲线
连接状态自动检测、高压超限告警
长时间连续数据记录、参数统计、超限判定
四线制测量消除引线压降带来的测量误差
支持 TSP 本地脚本、SCPI 远程程控,实现高压器件全自动批量测试
五、硬件接口与操控
前面板:真空荧光显示屏、功能按键、调节旋钮、SHV 高压输出端子、前置 USB 接口
背板:电源输入、LAN 网口、GPIB、RS232 通讯接口、TSP-Link 拓展接口、数字 I/O 触发、后置 SHV 高压端子
操控方式:面板按键本地操作,GPIB/LAN 远程程控
机箱规格:标准台式机箱,支持 19 英寸机柜上架
六、典型应用场景
SiC、GaN 功率器件高压阻断特性、反向漏电流、击穿电压测试
高压二极管、TVS、晶闸管、IGBT 静态参数表征
高压绝缘材料、薄膜、高阻介质漏电流与耐压测试
光伏高压组件、高压光电元器件可靠性测试
高压传感器、脉冲器件瞬态高压特性科研测试