产品详情
一、基础信息
品牌沿革:Keithley 吉时利,后被 Tektronix 泰克收购
产品状态:已停产,2600A 系列单通道超高精密源测量单元(SMU),市面二手流通稳定,支持校准维护
设备定位:台式单通道 SMU,集成精密电压源、电流源、6.5 位数字万用表、脉冲发生器、电子负载;主打200V、fA 级微弱电流高精度测试,配备三同轴低噪声测量端子,适合材料、光电、半导体微漏电表征,支持实验室研发与自动化 ATE 系统集成
整机形态:台式整机,支持面板手动操作;搭载 TSP-Link 总线,可多台仪器级联扩展通道
供电规格:100~240V 交流自适应供电
二、核心规格参数
显示分辨率:6.5 位
通道配置:单通道独立 SMU
连续直流功率:30.3W;脉冲峰值功率 200W
电压范围:±200mV ~ ±200V
电流范围:1fA ~ ±1.5A 直流,脉冲峰值最高 10A
测量灵敏度:电压 100nV,电流低至 1fA
工作模式:四象限源 / 阱双向输出
测量模式:2 线本地测量、4 线远程感应测量
采集速率:最高 20000 读数 / 秒
通讯接口:LAN (LXI)、GPIB、RS232、前置 USB 存储、TSP-Link 同步总线、数字 I/O
内置功能:TSP 嵌入式脚本处理器、Contact Check 接触状态检测
测量端子:背板标配三同轴端子,保障微弱电流测量抗干扰能力
三、核心性能参数
单通道超高灵敏度设计,可稳定测量飞安级微弱漏电流,适合高阻抗器件、新材料测试
四象限双向工作,既能输出激励,也可吸收电流充当电子负载,完整采集器件漏电、击穿、I-V 特性曲线
可编程电压、电流软硬双重限值,保护光电探测器、高压半导体芯片避免过压损坏
内置多级数字滤波,有效抑制电磁噪声,兼顾大功率稳态测试与超微弱电流测量
Contact Check 接触检测功能,自动识别探针、线缆虚接,规避无效测试数据
支持直流连续扫描、窄脉冲测试模式,降低被测器件持续发热损伤
TSP-Link 支持最多 32 台设备同步级联搭建多通道测试平台
前后端子可切换,兼顾桌面研发调试与机柜自动化集成
SCPI 指令向下兼容 2600 系列源表,原有测试程序可平滑迁移
四、内置标准测量功能
直流电压、直流电流、电阻测量
电压扫描、电流扫描,生成器件 I-V 特性曲线
连接状态自动检测、测试异常告警
连续长时间数据记录、超限判定、测量数据统计运算
四线制测量消除引线压降带来的测量误差
支持 TSP 本地脚本、SCPI 远程程控,实现器件自动化测试
五、硬件接口与操控
前面板:真空荧光显示屏、功能按键、调节旋钮、三同轴测量端子、前置 USB 接口
背板:电源输入、LAN 网口、GPIB、RS232 通讯接口、TSP-Link 拓展接口、数字 I/O 触发、后置三同轴测量端子
操控方式:面板按键本地操作,GPIB/LAN 远程程控
机箱规格:标准台式机箱,支持 19 英寸机柜上架
六、典型应用场景
光电探测器、光伏器件暗电流、微弱漏电高精度测试
高压二极管、TVS、MOSFET 反向漏电流、击穿特性表征
有机半导体、阻变材料、高阻新材料微电流特性研究
传感器、MEMS 器件直流参数测试
高校实验室、科研单位超高灵敏度电学表征平台