产品详情
一、基础信息
品牌沿革:Keithley 吉时利,后被 Tektronix 泰克收购
产品状态:市面流通量大,2600B 系列双通道旗舰超高精密源测量单元(SMU),2636A 升级改良型号,支持校准维护
设备定位:台式双通道独立 SMU 仪器,集成精密电压源、电流源、6.5 位万用表、脉冲发生器、电子负载;双通道完全隔离,具备 200V、0.1fA顶级微弱电流测量能力,整机标配三同轴低噪声端子,适合双端器件、光电芯片、新材料微弱漏电精密测试,适配实验室研发与自动化 ATE 测试系统
整机形态:台式整机,支持面板手动操作;搭载 TSP-Link 总线,可多台仪器级联拓展测试通道
供电规格:100~240V 交流自适应供电
二、核心规格参数
显示分辨率:6.5 位
通道配置:双通道(CH A / CH B)相互独立 SMU 通道
单通道连续直流功率:30.3W;脉冲峰值功率 200W
电压范围:±100mV ~ ±200V
电流范围:0.1fA ~ ±1.5A 直流,脉冲峰值最高 10A
测量灵敏度:电压 100nV,电流低至 0.1fA
工作模式:四象限源 / 阱双向输出
测量模式:2 线本地测量、4 线远程感应测量
采集速率:最高 20000 读数 / 秒
通讯接口:LAN (LXI)、GPIB、RS232、USB2.0、前置 USB 存储、TSP-Link 同步总线、数字 I/O
内置功能:TSP 嵌入式脚本处理器、Contact Check 接触状态检测
测量端子:前后板三同轴端子,抑制外界电磁噪声,保障微电流稳定测量
三、核心性能参数
双通道完全隔离,可独立驱动被测器件,支持高精度同步扫描,适配 MOSFET、光电阵列等双端元器件差分测试
四象限双向工作,既能输出激励,也可吸收电流充当电子负载,完整采集器件暗电流、漏电、击穿、I-V 特性曲线
可编程电压、电流软硬双重限值,保护光电探测器、高压半导体芯片,防止过压过流损毁
内置多级数字滤波,有效抑制电磁干扰,兼顾大功率稳态测试与超微弱飞安级电流测量
Contact Check 接触检测功能,自动识别探针、测试线缆虚接,避免无效测试数据
支持直流连续扫描、窄脉冲测试模式,降低被测器件持续发热损伤
TSP-Link 总线支持最多 32 台设备同步级联,搭建大规模多通道并行测试平台
前后端子自由切换,兼顾桌面研发调试与机柜自动化集成
兼容 SCPI 指令,支持 2400 系列源表代码仿真,老旧测试程序可平滑迁移
四、内置标准测量功能
直流电压、直流电流、电阻测量
电压扫描、电流扫描,生成器件 I-V 特性曲线
连接状态自动检测、测试异常告警
连续长时间数据记录、超限判定、测量数据统计运算
四线制测量消除引线压降带来的测量误差
支持 TSP 本地脚本、SCPI 远程程控,实现器件全自动批量测试
五、硬件接口与操控
前面板:真空荧光显示屏、功能按键、调节旋钮、双通道三同轴测量端子、前置 USB 接口
背板:电源输入、LAN 网口、GPIB、RS232、USB 通讯接口、TSP-Link 拓展接口、数字 I/O 触发、后置三同轴测量端子
操控方式:面板按键本地操作,GPIB/LAN/USB 远程程控
机箱规格:标准台式机箱,支持 19 英寸机柜上架
六、典型应用场景
光电探测器、光伏器件暗电流、微弱漏电高精度测试
高压二极管、TVS、MOSFET 反向漏电流、击穿特性表征
有机半导体、阻变材料、高阻新材料微电流特性研究
MEMS 传感器、光电器件阵列双通道并行测试
高校实验室、科研单位双通道超高灵敏度电学表征平台